芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè)，主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，公司主要產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備和單片式濕法設(shè)備，公司產(chǎn)品已實現(xiàn)批量銷售，目前已累計銷售1200臺套，稱國內(nèi)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)細分市場的“隱形冠軍”。2019年芯源微在上交所科創(chuàng)板上市，成為半導(dǎo)體光刻設(shè)備第一股，也是遼寧省科創(chuàng)板第一股。芯源微立足自主研發(fā)，持續(xù)引進行業(yè)高端人才，連續(xù)承擔(dān)國家02科技重大專項，通過多年技術(shù)積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識產(chǎn)權(quán)體系。
上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司于2021年2月份成立，占地面積3萬㎡，規(guī)劃總建筑面積約5萬㎡。項目建成后將建設(shè)將開展浸沒光刻匹配的涂膠顯影機、單片式清洗機等高端半導(dǎo)體設(shè)備及與之相關(guān)的核心部件及軟件平臺技術(shù)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。